1、样品尺寸可达直径210 mm，厚度15 mm。样品台重复性（XY轴）：单方向2 μm；
2、扫描范围：XY方向扫描范围90 μm×90 μm，垂直方向扫描范围不小于10 μm；
3、测试模式：峰值力轻敲模式、压电响应测试模式、电学模式（EFM、KPFM）、磁力显微镜；

Bruker Dimension ICON可以用于在大气环境中在微米和纳米尺度上的高分辨率形貌测试，可获得样本表面的三维形貌、粗糙度、尺寸结构等信息，也可以获得杨氏模 量、粘附力等力学信息，以及功函数、导电性、静电力、压电力、掺杂类型、掺杂浓度等电学信息等。

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