1、两个离子源电压100eV~6.0KV连续可调。2、束流密度最高可达10 mA/cm2，连续可调。3、减薄入射角-10o ~+ 10o。（4）样品台旋转0o ~ 360o。

用于透射电镜金属、陶瓷及半导体等固体材料样品的前期制备，为TEM样品制备的最后一道工序，制备好的样品可以直接在透射电镜下观察。该设备低能量电子枪制备出的TEM样品薄区大，非晶形成小，不易引起样品结构改变，特别是其低至0.1eKV的电子枪能量，还可以用于清理非晶层，适用于各类透射电镜的样品前置备工作。

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