薄膜综合物性分析测试系统-热膨胀单元

仪器详细信息

主要规格及技术指标	热膨胀单元 1.温度范围：RT~1200℃ 2.最大升温速率：50℃/s 3.膨胀量分辨率：266nm 4.样品尺寸：≈1英寸（20mm*20mm之内）
主要功能及特色	热膨胀系数分析模块采用光干涉原理专利技术，无损检测块体和薄膜样品的热膨胀系数。
主要附件及配置	激光器（532±1nm波长）、加热灯管（短波红外卤钨灯管）等