采用非接触式光学测量技术的多功能测头系统：同时具备共聚焦、白光干涉CSI、相位差干涉PSI、多焦面叠加四种三维测量技术，满足不同条件下测试需求。

纵向分辨率（系统噪声）：0.1nm；显示分辨率：0.001nm。

主要用于关键金属零部件的微观三维形貌的测量，并提供粗糙度，曲率半径，结构高度等三维参数的评估。

DI 10X 干涉 10 倍镜头：数值孔径 0.3，工作距离 7.4mm；DI 50X 干涉 50 倍镜头：数值孔径 0.55，工作距离 3.4mm；DI 100X 干涉 100 倍镜头：数值孔径 0.7，工作距离 2mm。