钨灯丝扫描电子显微镜SEM

仪器详细信息

主要规格及技术指标	1. 二次电子分辨率：2.5nm @ 20 kV；4 nm @ 3 kV；5 nm @ 1 kV 2. 加速电压范围：0.2 kV～30 kV 3. 放大倍数范围：1x～300,000x（底片放大倍数）
主要功能及特色	SEM3300是一款全新的钨灯丝扫描电子显微镜，分辨率优于2.5 nm。特殊的电子光路设计，在低电压1 kV下，达到5 nm分辨率。
主要附件及配置	旁侧二次电子探测器（ETD）；镜筒内电子探测器；悬挂式背散射电子探测器