检测元素范围：3Li～92U；单色化Al射线源,最佳能量分辨率：0.43eV;能量分辨率为0.48eV时，灵敏度650kcps；能量分辨率为0.6eV时，灵敏度2500kcps；高能 Ag靶射线源：能量分辨率0.9eV时，灵敏度6kcps；能量扫描范围：0~3200eV； 离子刻蚀枪：具有单个Ar原子和团簇Ar双模式；紫外光电子能谱，能量分辨:120meV；灵敏度:≥1Mcps；离子散射谱，能量分辨和灵敏度：使用1keV的He+离子入射到清洁的Au表面上，Au峰的能量分辨率12eV时其灵敏度12kcps/nA；冷热台，加热温度范围：室温～800℃；致冷温度范围：室温～-100℃；高温原位催化反应池，温度和压力：可达1000℃@10bar，800℃@20bar，300℃@30bar。

用于各种有机和无机固体材料的表面（一般10 nm深度）元素及其价态定性、定量分析，表面元素化学成像及深度剖析。可实现以下功能：1. Al/Ag双阳极靶，常规样品分析，并能有效避免俄歇峰；2. Ar团簇刻蚀枪，样品表面清洁及多层薄膜样品的深度刻蚀；3. UPS紫外光电子能谱，获得固体材料表面(2~3nm)元素价带能级结构信息； 4. ISS离子散射谱，分析材料表面的吸附，同位素信息；5. 加热制冷样品台，样品的原位加热制冷；6. 原位充放电样品台，固态电解质电池原位充放电时的XPS测试；7. 高温原位催化反应池，研究催化剂表面元素成分及其所处的状态，对吸附和脱附机理进行表征；8. 敏感传输器，实现敏感样品的转移和传递。

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