主要规格及技术指标
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1、两个离子源电压100eV~6.0KV连续可调。2、束流密度最高可达10 mA/cm2,连续可调。3、减薄入射角-10o ~+ 10o。(4)样品台旋转0o ~ 360o。 |
主要功能及特色
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用于透射电镜金属、陶瓷及半导体等固体材料样品的前期制备,为TEM样品制备的最后一道工序,制备好的样品可以直接在透射电镜下观察。该设备低能量电子枪制备出的TEM样品薄区大,非晶形成小,不易引起样品结构改变,特别是其低至0.1eKV的电子枪能量,还可以用于清理非晶层,适用于各类透射电镜的样品前置备工作。 |
主要附件及配置
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无 |