主要规格及技术指标
|
1、水平分辨率要求达到120nm。 |
主要功能及特色
|
可观察纳米范围的台阶,并可测量亚微米级别的高度差。还可以测量从线到面的表面粗糙度。配备的彩色成像光学系统和激光共焦光学系统让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。 |
主要附件及配置
|
无 |