主要规格及技术指标
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1、样品尺寸可达直径210 mm,厚度15 mm。样品台重复性(XY轴):单方向2 μm; |
主要功能及特色
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Bruker Dimension ICON可以用于在大气环境中在微米和纳米尺度上的高分辨率形貌测试,可获得样本表面的三维形貌、粗糙度、尺寸结构等信息,也可以获得杨氏模 量、粘附力等力学信息,以及功函数、导电性、静电力、压电力、掺杂类型、掺杂浓度等电学信息等。 |
主要附件及配置
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无 |