高分辨聚焦离子束电子束双束扫描电子显微镜
仪器编号
规格
生产厂家
赛默飞(FEI)
型号
Helios 5 UX
制造国家
美国
分类号
放置地点
郭可信材料表征中心 B130
出厂日期
2023-08-24
购置日期
2023-08-24
入网日期
1970-01-01
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主要规格及技术指标
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1、二次电子分辨率：≤0.6 nm @ 15kV；≤0.8 nm @ 1kV； |
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主要功能及特色
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Helios 5 UX可用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上微纳结构的表征及高质量定点APT、TEM样品制备，化学和晶体结构三维形态分析。可进行离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积；高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。 |
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主要附件及配置
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同轴TKD和平插能谱 |
暂无收费信息
