1、氦气的抽速10 l/s2、氦气的最小可检测泄漏率1 · 10-13 Pa m³/s3、前级泵抽速：37 m³/h
该设备由干式前级泵和涡轮分子泵组成，用于真空系统检漏。
干式前级泵，涡轮分子泵，喷枪
