1、半磁浮宽程复合分子泵HiPace 300
1.1 N2的抽速：260 l/s；
1.2 N2 的最大预真空：20 hPa
1.3 极限压力< 5 · 10-10 hPa
1.4 连接法兰（入口）DN 100 CF-F
2、涡旋干泵HiScroll 12
2.1 抽速：12.1 m³/h
2.2 最高极限压力：6 · 10-3mbar
2.3 连接法兰（入口）：DN 25 ISO-KF
2.4 连接法兰（出口）：DN 25 ISO-KF
3、全量程真空规PKR 361
3.1 测量范围：1 · 10-9 – 1 · 103 百帕
3.2 测量方法：Pirani/ 冷阴极

该设备用于真空获取，可满足高真空设备的需求，用于真空工艺技术和一般真空应用等。

分子泵Hipace 300，前级涡旋干泵Hiscroll 12，PKR 361 全量程真空规