主要规格及技术指标
|
1、真空系统及抽气效率:机械泵、分子泵二级抽气系统 一级泵抽气效率:≥100升/分 二级泵抽气效率:≥240升/秒 2、样品室真空度:≤1.010-4 Pa 3、钟罩体积:250mm(钟罩外径) 250mm(高度) |
主要功能及特色
|
适用于高分辨率观测的碳、金薄膜的蒸发 |
主要附件及配置
|
无 |